【1Fクリーンルームイエロールームの純水装置 使用できます。】
1FCR イエロールームの純水装置 水漏れ修理が完了しました。
現在使用できます。
(R3/12/8掲載)

【16-230 SEM使用可能】
16-230 SEMのPCの修理が完了しました。
SEMが使用できるようになりましたが、PC起動に注意してください。PCの近くに注意事項がありますので確認してください。(R3/12/09掲載)

【16-230X線回折装置Smart-Lab 使用可能】
R3/10/12 16-230X線回折装置Smart-Labの修理が完了しました。。
通常通り使用できます。
(R3/10/12掲載

【SEMに関するお知らせ】
今年度SEMを初めて使用する際は、クリーンルーム管理室に必ず連絡してから使用してください。(H30/4/27掲載)

【SEM EDX使用時の注意】
SEM EDX使用予定の方は予約の際、名前の横に“EDX使用”と必ず明記してください。(H29/11/17掲載)

【コンパクトエッチャー使用時の注意】
コンパクトエッチャー使用者は使用前後にガス残量を確認しログノートに記入してください。(H29/5/25掲載)

【片面マスクアライナーに関するお願い】
露光系のセットアップを変更した場合は、終了後、元に戻してください。(H28/7/11掲載)

【施設利用予約(web予約)に関する注意】
「予約状況」欄は、先に予約を入れた人が一番上に表示されています。
施設利用予約をする際には、予約時間が重なっていないか確認の上、予約を入れるようにしてください。
また、予約時間になっても利用がない場合は他の方に利用枠をゆずります。
予約をキャンセルする場合は忘れずにweb予約を削除するなどの配慮をお願いします。
(7/27掲載)

1階クリーンルーム・16-230装置の利用と予約について
*対象機器が追加されました*

EDX WET-SEM(JSM-6360LA/
JSM-6380LA)・

レーザー顕微鏡(VK-9500/VK-X200/
VE-8800)は、

利用希望者多数のため、
最大3時間までとします。

やむを得ず長時間の利用が必要な場合には
管理室までご相談ください。
(9/16掲載)

装置資料に関して:
先進機能デバイス研究室 学内専用ページも参照のこと.(1/19掲載)

SEMの利用について
細胞系や高分子系などアウトガスのあるサンプル観察は,基本的に,16-230室のSEMを使用してください。(7/17掲載)


1元スパッタの使用に関して:
Oリングの取り外しに注意すること(参考資料 学内のみ)(7/25掲載)