研究背景 　コオロギの腹部末端には尾葉と呼ばれる1対の突起が存在する。尾葉には、太さ数ミクロンの感覚毛が数百本生えている 。コオロギはこの感覚毛を使用し、周囲の微小な空気の流れを読み取ることで、逃避行動を行っている。 　本研究では、昆虫の持つ感覚毛に着目することで新たなセンサを考案している。 MEMS技術を用いた静電容量型の気流センサの開発 　本研究ではMEMS技術を用いて静電容量型の気流センサの開発を行った。気流センサの検出原理としては上部に取り付けられた導電体に風があたり，上下2つの導電体間の距離dが変化することで，導電体間の静電容量が変化し，その変化量を測定する仕組みになっている。 MEMS技術を用いた静電容量型の気流センサの開発  AirFrow Sencer 　本研究で製作した気流センサは風速500�o /s を検出することが可能である。 　今後、センサの小型化を図り、ロボットに応用することで、ロボットの小型化・多機能化を実現することが可能になる。