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実験装置

表面分析・顕微鏡関係

  • Dynamic-SIMS
     試料表面にイオンビームを当て、出てくる二次イオンを質量分析することで、固体表面の微量分析ができます。主として深さ方向分析に用います。

    <応用分野>
    ・半導体素子の不純物の深さ方向分析

    Dynamic-SIMS装置の概観

質量分析関係


有機薄膜関係


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