【230号室　EDS-Wet SEM 　一部機能の不具合発生】
一部機能の不具合があり、
定量分析の詳細が見れない状況です。(R7/1/22)

【231号室　ラマン顕微鏡使用再開】
使用頂けます。
ただし装置に不安定な状況がございますので、
通信エラーなど不具合がありましてら、
詳細報告のご協力下さい。(R6/12/9)

【大型プリンター使用再開のご案内】
管理室にあります大型プリンター
使用再開します。（R6/11/21)

【1Fクリーンルーム　接触式表面形状システム使用不可】
1Fクリーンルーム接触式表面形状システム　不具合がある為
使用不可となります。（R6/11/01）

【高速度カメラ　取り扱い無くなりました。】（R4/9/5）

【SEM EDX使用時の注意】
SEM EDX使用予定の方は予約の際、名前の横に“EDX使用”と必ず明記してください。（H29/11/17掲載）

【コンパクトエッチャー使用時の注意】
コンパクトエッチャー使用者は使用前後にガス残量を確認しログノートに記入してください。(H29/5/25掲載）

【片面マスクアライナーに関するお願い】
露光系のセットアップを変更した場合は、終了後、元に戻してください。（H28/7/11掲載）

【施設利用予約(web予約)に関する注意】
「予約状況」欄は、先に予約を入れた人が一番上に表示されています。
施設利用予約をする際には、予約時間が重なっていないか確認の上、予約を入れるようにしてください。
また、予約時間になっても利用がない場合は他の方に利用枠をゆずります。
予約をキャンセルする場合は忘れずにweb予約を削除するなどの配慮をお願いします。(7/27掲載)

1階クリーンルーム・16-230装置の利用と予約について
*対象機器が追加されました*
EDX WET-SEM(JSM-6360LA/JSM-6380LA)・
レーザー顕微鏡(VK-9500/VK-X200/VE-8800)は、
利用希望者多数のため、最大3時間までとします。
やむを得ず長時間の利用が必要な場合には
管理室までご相談ください。(9/16掲載)

装置資料に関して：
先進機能デバイス研究室 学内専用ページも参照のこと．(1/19掲載)

SEMの利用について
細胞系や高分子系などアウトガスのあるサンプル観察は，基本的に，16-230室のSEMを使用してください。(7/17掲載)

1元スパッタの使用に関して：
Oリングの取り外しに注意すること（参考資料 学内のみ）(7/25掲載)