CONTENTS
- 高機能デバイス研究室の運営方針
- 研究・教育に対する考え方
- 仮配属決定後のスケジュール（学部3年生）
- 研究室の準備状況
高機能デバイス研究室（2018年度より，16-122室 → 05-602室に移動）
高機能デバイス実験室（2018年度より，16-328/329室 → 05-651/653室に移動）
- 装置の詳細
- その他
- 高機能デバイス研究室（2018年度より，16-122室 → 05-602室に移動）
- 高機能デバイス実験室（2018年度より，16-328/329室 → 05-651/653室に移動）
HOME
高機能デバイス研究室の運営方針
最小の資本と人で最大の付加価値をあげる
- お金をかければいいものができるのは当然のことで，いかにお金をかけずに創意工夫していいものを作るか．
カネがないヒトがいないと嘆くのではなく，現状でできる最高のパフォーマンスは何か．
そういうことを常に考え，実践することに心血を注いで研究室運営を行っております．
キーワードは自作
- 経験はおカネでは買えません．
研究装置も作れるものはなるべく自作．自分の手を動かしながら学んでいくことが最も成長するときだと考えています．
自作の面白さにどっぷり浸かり，無駄にかけた時間もまた，必ず貴重な財産となります．
とにかくやってみる
- PDCAサイクルを回せることは社会人になるために必要なスキルの１つですが，Planばかり練っていては進みません．
研究室では，とにかくやってみよう！ をモットーに研究を進めています．
計画段階では想定できなかったことが，やってみてはじめて分かるからです．もちろん，安全にはしっかりと細心の注意を払っていますが．
このような経験を積むことで，Planの段階で完成度の高い計画を立案できるスキルが身につきます．
楽しく，楽しく，そして楽しく
- 楽しんでやるから多くのものが得られ，多くのものが得られるから楽しくなるのです．
楽しくやらないと，進むものも進みません．
研究・教育に対する考え方
まずディスカッション
徹底的に話し合った上で，本質をあぶり出す．
- 例えば，装置Aの使い方を教えて欲しい，という相談があっても，研究内容を聞いていくと，その目的を達成するには装置Aよりも装置Bのほうが適している，ということがよくある．
その際には，私自身の経験を踏まえ，装置の原理と理由を懇切丁寧に説明した上で最善の提案をさせていただくことにしている．
本当に教えなければならないのは，目先の装置の使用方法ではなく，
課題解決に向けて何をどうすればいいのかというプロセスである．
- 単に装置の使い方を教えるだけならばずいぶん楽である．
こっちのボタンを押して，その後にこのスイッチをONにして．．．などと教えれば，最低限装置の使い方はマスターできる．教員が拘束される時間も短くて済む．短期的な成果を求めるなら非常に効率的である．
でも，これはその装置固有の使用方法であり，マニュアルに書いていないことが起こったり，インターフェイスが異なると手も足も出なくなってしまう学生が多い．
一方で，装置の動作原理は○○○であり，起動するにはまずＸＸＸをしてやり，△△△をしてやらなければならない．そのために，こっちボタンを押して〜〜〜をＸＸＸをし，このスイッチをONにして△△△をする．．．
ということをやっていると操作方法だけを教えるよりも数倍の時間がかかってしまう．
でもこうやって地道な努力を重ねていくことで，長期的には絶対成果が上がってくると信じている．
教育とは，限りなく多くの時間をかけて生き様すべてを見せ，そこからプラスの何かを感じ取ってもらうことだと考えている．
学生に事細かに実験の指示を出すのではなく，逆にすべてを任せるでもなく，
極力，学生たちと一緒に手を動かし，汗をかき，悩むことが，研究と教育の両面で重要である．
答えを直接教えるのではなく，自分なりの答えを導き出す方法を伝授する．
- 学生は，その装置の使い方だけを聞きたくてやってくるのに，研究内容の詳細だとかを聞かれると露骨に面倒くさそうな顔をする．それならまだいい方で，自分の研究内容を説明できない学生も少なくない．
学生が卒業してから数年先の中長期的な観点で，教育的な側面を強めた指導を実践している．
そのため，どんな学生であろうとも，徹底的にディスカッションから入るスタイルは，どこに行っても変えないつもりでいる．
仮配属決定後のスケジュール（学部3年生）
3年次
- 11月：仮配属決定
- 12月：招集（自己紹介，テーマ紹介など）
- 1〜2月：テーマ決め，引き継ぎ
- 3月：卒業生のfarewell party
4年次
- 4月：新入生オリエンテーション
- 6月：オープンキャンパス
- 7月：研究室BBQ
- 8月：オープンキャンパス，電気学会学生発表会
- 10月：オープンキャンパス
- 12月：大学コンソーシアム八王子学生発表会，卒論概要提出
- 1月：卒論まとめ
- 2月：卒論発表会，後輩への引き継ぎ
- 3月：応用物理学会，farewell party
Lab. meeting
- 上記イベントの他，Lab. meeting（卒論ゼミ）が週1回あります．
- 2019年度は，毎週火曜 17-21時．
- 2020年度は，毎週水曜 17-21時．
研究室の準備状況
高機能デバイス研究室（16-122室）
 |
 |
 |
||
| 2014/04/01 工学院大学 総合研究所 着任 |
2014/04/01 デスクとホワイトボードしかなかった |
2014/04/11 事務作業効率UPのため大胆にレイアウト変更 |
||
 |
 |
 |
||
| 2014/04/18 LAN環境を整備 |
2014/12/10 ドアノブの静電気対策 |
2015/03/12 ディスカッション用のモニタースタンドを導入 |
||
 |
||||
| 2015/08/14 目印はドアに貼った研究室紹介ポスター |
高機能デバイス実験室（16-328/329室）
 |
 |
 |
||
| 2014/04/01 はじめは机とイス，モニター1つだけだった |
2014/07/29 NIMSから持ってきたものを整理したり，マニュアルプローバーを修理したり |
2014/08/08 実験室のレイアウトが決まった（329室の一角を準備室に） |
||
 |
 |
 |
||
| 2014/08/08 準備室 |
2014/10/29 譲り受けた半パラ（4156A）用にワゴンを導入．作業台の上もそれらしくなってきた |
2014/10/29 マニュアルプローバーでとりあえずのデバイス特性評価もできるようになったし |
||
 |
 |
 |
||
| 2014/11/26 実験を頑張ってくれる学生さんも配属された |
2015/02/16 排気ダクト設置．ロータリーポンプの排気を外へ |
2015/02/24 真空プローバー導入 |
||
 |
 |
 |
||
| 2015/03/11 フレキシブルプローバーに顕微鏡ヘッドを増設 |
2015/03/11 準備室にプリンタ，NASを導入 |
2015/07/27 真空プローバーにモニターアーム，顕微鏡ヘッドなどを増設 |
||
 |
 |
 |
||
| 2015/08/06 真空デシケーター（N2置換）を導入 |
2015/08/07 排気ダクトを補強 |
2015/08/20 ドラフトチャンバーが来た |
||
 |
 |
 |
||
| 2015/08/25 マニュアルプローバーにシールドボックスを設置中 |
2015/09/01 シールドボックス用にTXA-SMA変換コネクタを自作 |
2015/09/02 シールドボックス設置完了．微小電流測定の信頼性が向上 |
||
 |
 |
 |
||
| 2015/09/03 ドラフトチャンバーの排気ダクト接続完了 |
2015/09/17 モノが増えて雑然としてきた |
2015/10/15 真空プローバーを自走式に改造 |
||
 |
 |
 |
||
| 2015/11/30 スピンコーターを3F実験室に設置．3Fの実験室だけで簡易的な素子作製が可能になった |
2015/12/25 炉エリアに棚を設置 |
2016/01/19 TMPポンピングステーションを破格プライスで入手．真空プローバーに接続 |
||
 |
 |
|||
| 2016/02/20 ナノインプリント装置を搬入 |
2016/02/20 昇華精製炉を搬入 |
装置の詳細
Semiconductor Parameter Analyzer | 半導体パラメータアナライザ
- Agilent 4156A
Agilent VEE7.5で外部制御．
物質・材料研究機構，π電子エレクトロニクスグループ 塚越一仁先生よりお譲り頂きました．
2014/07: TFT特性評価用のプログラムを作成．一素子のId-Vg特性とId-Vd特性を自動で連続測定できるようになった．SCPIコマンドに慣れ親しんでいなかったため，はじめは英語マニュアルとの格闘の日々だった．
2014/08: 半パラ用ワゴンを導入．自走式になった．この時点でプローバー2台に対し評価装置1台のため，共用できるように．
2014/10: ワゴンにノイズカットトランスを設置．電研精機製，3kVA．サージノイズ対策のため，測定機器用電源はトランス経由にしている．
Robotic Micro Dispensing System | 卓上型ディスペンサーシステム
- 武蔵エンジニアリング SHOT mini SL
物質・材料研究機構，π電子エレクトロニクスグループ 塚越一仁先生よりお譲り頂きました．
Quick Coater | クイックコーター
- サンユー電子 SC-701
ターゲット：Au, Pt
東京大学 大学院工学系研究科 機械工学専攻，丸山・千足研究室 丸山茂夫先生，千足昇平先生よりお譲り頂きました．
2015/06: 配管等を接続．
2015/07: Arガス設置．
Rapid Thermal Annealer | 卓上型ランプ加熱装置
- ULVAC MILA-3000
アニール環境：真空（~10-2 Pa）, N2, O2
本学 機械システム工学科，マイクロシステム研究室 鈴木健司先生よりお借りしてます．
2015/03: 設置．電源ライン接続と動作確認．
2015/05: N2を接続．
2015/10: O2を供給できるようにガス供給ライン増設．
UV-Vis Spectrophotometer | 紫外可視分光光度計
- Shimadzu UVmini-1240
本学 機械工学科，生体医工学研究室 橋本成広先生よりお借りしてます．
2015/06: 移設．
2015/06: 薄膜評価用ユニットを増設．
2015/07: PCとRS232接続し，測定データを外部転送できるように．
Spin Coater | スピンコーター
- MIKASA 1H-D7
本学 機械システム工学科，マイクロシステム研究室 鈴木健司先生よりお借りしてます．
2015/11: 移設．
2015/11: 修理開始．故障の原因は，レジスト吸込みによる目詰りとリレーの劣化．
2015/11: 修理完了．正常動作できるようになった．3F実験室に設置し，絶縁性ポリマー等の塗布成膜に活用．
Precision Measurement Unit | プレシジョンソース／メジャーユニット
- Keysight B2902A
日揮・実吉奨学会の研究助成金にて導入しました．
2014/11: 導入．
2014/12: サージノイズ対策用のトランスを自作．
2014/12: 三重同軸ケーブルアッセンブリを自作．
ケーブル：ECX-2.5D-2VSV（多治見無線電機），コネクタ：TXA104-P（多治見無線電機）
ケーブル：ECX-2.5D-2VSV（多治見無線電機），コネクタ：TXA104-P（多治見無線電機）
Nanoimprint Lithography System | ナノインプリント装置
- Obducat NIL-2M-OB-PL-LW-100V
物質・材料研究機構，π電子エレクトロニクスグループ 塚越一仁先生よりお譲り頂きました．
2016/02: 搬入．
2016/05: 立ち上げ作業．
2016/05: 立ち上げ作業完了．
その他
研究室紹介動画 [3:52]
- フリーソフトのみで学生さんが作成してくれた研究室紹介動画です．
（2015年8月，山田航平さん作）
- Download [144MB]
Copyright © 2015 AFDL All Rights Reserved.