工学院大学 固体(ワイドギャップ半導体) 物性工学 尾沼研究室	Kogakuin University Widegap Semiconductor Science and Engineering Onuma Laboratory
メンバー Members 教授 尾沼　猛儀 専門：半導体物性工学 Email: onuma＠cc.kogakuin.ac.jp （＠を半角フォントに変更してください） Tel/Fax: 042-628-4704 2025年度 博士後期課程　3年 研究テーマ 小川　広太郎 岩塩構造酸化マグネシウム亜鉛のミスト化学気相成長と真空紫外発光素子応用に関する研究 修士課程　2年 研究テーマ 愛智　宏行 岩塩構造MgZnO/MgO量子井戸のミスト化学気相成長と真空紫外発光の検討 阿部　翔平 多結晶粉末原料を用いたミスト化学気相堆積法によるβ相酸化ガリウムの成膜検討 志田　喜凜 RF-MBE法によるAlNとAlGaN薄膜の不純物ドーピングと電気伝導性評価 根本　亮佑 岩塩構造MgOとMgZnO薄膜の光学的特性にAl不純物添加が与える影響 修士課程　1年 研究テーマ 阿部　由妃乃 岩塩構造MgZnO/MgO多重量子井戸の発光特性の井戸幅依存性 田中　恭輔 準安定相組成域を包含する岩塩構造MgZnO混晶のミストCVD成長 中島　三四郎 Al添加MgZnO薄膜のミストCVD成長と導電性評価 安田　晴信 MgNiOのRFマグネトロンスパッタ成膜とパワーデバイス応用 渡辺　英暉 p型MgNiO薄膜の電気容量評価とパワーデバイス応用 学部　4年 研究テーマ 五十嵐 慧 時間分解フォトルミネセンス測定による岩塩構造MgZnOにおけるバンド端発光の観測 坂 優希 ミストCVD法による岩塩構造酸化マグネシウム亜鉛混晶薄膜へのAl添加の検討 島田 久遠 RF-MBE法によるSiドープAlN薄膜の成長と伝導性評価 清水 駿輝 RF-MBE法によるMgドープAlN薄膜成長と評価 穂坂 拓実 ミストCVD法によるLi添加MgO薄膜の成膜 松井 駿弥 RFマグネトロンスパッタ法で成膜したLiドープNiO薄膜の電気的特性と耐熱性評価 山中 颯太 酸化ガリウム多結晶パウダーを用いたミストCVD法によるβ相酸化ガリウムの原料濃度依存性検討 山本 夏維 不純物ドープがβ相酸化ガリウム結晶の光学特性に与える影響 小林 大翔 ミストCVD法で成長した岩塩構造MgZnO薄膜の光学定数の組成依存性 人見　宗汰 MgO基板上へのLiドープNiO薄膜のRFマグネトロンスパッタ成膜と電気的特性評価 2024年度 博士後期課程　2年 研究テーマ 小川　広太郎 岩塩構造MgZnOのミストCVD成長と深紫外、真空紫外LED応用 修士課程　2年 研究テーマ 秋葉　隆行 スパッタ法によるp型MgNiOの成膜とオーミック電極の製作検討 中村　瑠香 RF-MBE法によるp型,n型AlGaN薄膜の成長と伝導特性評価 三富　俊希 岩塩構造MgZnO混晶における光学遷移の解析とボーイングパラメータの検討 修士課程　1年 研究テーマ 愛智　宏行 Mist CVD法による岩塩構造MgZnO/MgO多重量子井戸のエピタキシャル成長 阿部　翔平 β相酸化ガリウム薄膜のミストCVD成長における残留不純物濃度制御の検討 根本　亮佑 真空紫外励起スペクトル測定による岩塩構造MgZnO薄膜の発光特性の解明 渡辺　英暉 ホール素子の微細化がp型MgNiO薄膜の電気的特性に与える影響 志田　喜凜 成長温度変化がMgドープAlGaN薄膜の光学・電気的特性に与える影響 学部　4年 研究テーマ 阿部　圭悟 RF-MBE法によるSiドープAlGaN薄膜の成長と評価 阿部　由妃乃 岩塩構造MgZnO/MgO多重量子井戸の発光特性の井戸幅依存性 王　荷錦 Ga2O3粉末を用いたβ-Ga2O3のミストCVD成長における霧化量依存性 高橋　風貴 岩塩構造MgZnO/MgO多重量子井戸のミストCVD成長における井戸幅制御の検討 田中　恭輔 準安定相組成域を包含する岩塩構造MgZnO混晶のミストCVD成長 西守　映菜 格子緩和がRS-MgZnO薄膜の光学的特性に与える影響 安田　晴信 アルゴン+酸素混合雰囲気でのNiOのRFマグネトロンスパッタ成膜と評価 2023年度 博士後期課程　1年 研究テーマ 小川　広太郎 岩塩構造MgZnOのミストCVD成長と深紫外、真空紫外LED応用 修士課程　2年 研究テーマ 石川　明人 RFマグネトロンスパッタ法によるp型MgNiZnO薄膜の成膜と電気的特性評価 日下　皓也 岩塩構造MgZnOの真空紫外光学特性と光センサー製作検討 山崎　大和（本田研） モノリシック集積技術を用いたマイクロLEDディスプレイの開発 修士課程　1年 研究テーマ 秋葉　隆行 MgNiO系材料のスパッタ成膜とパワーデバイス応用 中村　瑠香 AlGaNのMBE成長と深紫外LED応用 三富　俊希 Al, Ga, Inドナー不純物添加が岩塩構造MgZnO薄膜の発光特性に与える影響 学部　4年 研究テーマ 愛智　宏行 Mist CVD法による岩塩構造MgZnO/MgO多重量子井戸のエピタキシャル成長 阿部　翔平 β相酸化ガリウム薄膜のミストCVD成長における残留不純物濃度制御の検討 川口　将真 サリチル酸ナトリウムを用いたVUV透過測定系の開発とサファイアへの適用 根本　亮佑 真空紫外励起スペクトル測定による岩塩構造MgZnO薄膜の発光特性の解明 橋爪　奏真 微細化NiO薄膜ホール素子の電気的特性に成膜圧力が与える影響 渡辺　英暉 ホール素子の微細化がp型MgNiO薄膜の電気的特性に与える影響 志田　喜凜 成長温度変化がMgドープAlGaN薄膜の光学・電気的特性に与える影響 2022年度 修士課程　2年 研究テーマ 高坂　亘 真空紫外分光システムを用いた不純物添加MgO薄膜の発光特性の研究 庄司　昂平 顕微フォトルミネセンス分光を用いた酸化ガリウム結晶の緑色発光に関する研究 早崎　真洸 深紫外線で発光するAlGaN/AlN量子井戸LED構造の製作検討 村山　衛 スパッタ法により成膜したp型MgNiO薄膜を用いたダイオードの製作検討 山口　朋也 AlGaN/酸化ガリウムヘテロ構造の成長とダイオードの製作検討 松田　真樹（本田研） 岩塩構造MgZnO薄膜へのドナー不純物添加と深紫外発光ダイオードへの応用展開 修士課程　1年 研究テーマ 石川　明人 NiZnO系材料のスパッタ成膜とパワーデバイス応用 日下　皓也 岩塩構造MgZnO薄膜による真空紫外光センサーの開発 山崎　大和（本田研） モノリシック集積技術を用いたマイクロLEDディスプレイの開発　 学部　4年 研究テーマ 赤羽　良太 ホールバー素子を用いたp型MgNiO薄膜の電気的特性評価 秋葉　隆行 深さ分解X線光電子分光法を用いたMgNiO薄膜の評価 足立　龍汰 酸化ガリウム結晶のサブバンドギャップ光学遷移に関する研究 今枝　颯飛 熱処理がMgO基板の表面形態と光学特性に与える影響 下中村　諒太郎 ミストCVD法によるMgO薄膜の選択成長の検討 中村　瑠香 RF-MBE法による高Al組成AlGaN薄膜成長におけるIn照射の効果 水村　航貴 窒素流量の変化がMgドープGaNの電気的特性に与える影響 三富　俊希 InまたはGaドナー不純物添加がMgO薄膜の発光特性に与える影響 2021年度 修士課程　2年 研究テーマ 猪狩　有生 岩塩構造MgZnO薄膜における深紫外線発光の量子効率に関する研究 岩田　善行 塗布熱分解法によるMgZnO薄膜の成膜と発光特性に関する研究 中西　雅彦 顕微ラマンマッピングによるβ-Ga2O3結晶の微細構造評価に関する研究 橋本　真里 RF-MBE法によるAlGaN薄膜の成長と深紫外線センサーに関する研究 筑井　大義（本田研） モノリシック集積したGaN系micro-LEDディスプレイに関する研究 修士課程　1年 研究テーマ 高坂　亘 岩塩構造MgZnO系材料の光物性評価 庄司　昂平 局所発光分析による酸化ガリウム結晶に含まれる欠陥構造の評価 早崎　真洸 AlNテンプレート基板上へのAlGaNのRFプラズマ支援分子線エピタキシャル成長 村山　衛 MgNiO系p型酸化物薄膜のスパッタ成膜と評価 山口　朋也 酸化ガリウム基板上へのAlGaNのRFプラズマ支援分子線エピタキシャル成長 松田　真樹（本田研） 岩塩構造MgZnO系材料のミストCVD成長 学部　4年 研究テーマ 石川　明人 RFマグネトロンスパッタ法により成長したNiO薄膜の電気的特性にRF出力が与える影響 日下　皓也 岩塩構造MgZnO薄膜における真空紫外光電流スペクトルの観測 嶌田　晃大 RF-MBE法によるSiドープGaN薄膜の成長と評価 橋本　理沙 RF-MBE法によるMgドープGaN薄膜の成長と評価 土師　拓馬 顕微ラマンマッピング測定による酸化ガリウム基板におけるスクラッチ損傷の評価 人見　宗汰 岩塩構造MgZnO系材料のミストCVD成長 経田　汐音 RFマグネトロンスパッタ法によるCuまたはAgドープNiO薄膜の成長と評価 竹内　蓮弥（本田研） 電子ビーム蒸着によるITO薄膜の製作とウェットエッチング検討 山崎　大和（本田研） 集積化したマイクロLEDのメサ側面に及ぼすドライエッチング条件の影響 2020年度 修士課程　2年 研究テーマ 工藤　幹太 岩塩構造MgZnOの光学遷移メカニズムと発光特性に関する研究 橘　直純 RF-MBE法によるAlGaN成長における混晶組成制御に関する研究 佐藤　滉太（山口研） 集積化Siマイクロカップ基板を用いたLEDディスプレイ製作に関する研究 武田　翔馬（山口研） モノリシック集積技術を用いたmicro-LEDディスプレイ製作のプロセス検討 修士課程　1年 研究テーマ 猪狩　有生 岩塩構造MgZnOの発光特性評価 岩田　善行 MgZnNiO薄膜のスパッタ成膜とその評価 中西　雅彦 局所発光分析による酸化ガリウム結晶に含まれる欠陥構造の評価 橋本　真里 RF-MBE法による高Al組成AlGaN薄膜の成長と深紫外線受光素子の製作 筑井　大義（本田研） マイクロLEDピクセルの製作と発光特性の評価 学部　4年 研究テーマ 高坂　亘 合成石英基板上に成長した岩塩構造MgZnO微結晶における真空紫外線発光の観測 庄司　昂平 顕微フォトルミネセンスマッピングによるβ-Ga2O3結晶の構造欠陥評価 須崎　柊斗 電子ビーム蒸着によるITO薄膜の製作と電気的特性評価 早崎　真洸 RF-MBE法による高Al組成AlGaN薄膜の成長と光学的特性評価 村山　衛 RFマグネトロンスパッタ法により成膜したNiMgOとNiMgZnO薄膜の電気的特性の評価 山口　朋也 RF-MBE法によるAlNテンプレート上へのAlNホモエピタキシャル成長 飯塚　万友 顕微ラマンマッピングによる酸化ガリウム結晶の構造欠陥評価 渡辺　真也 岩塩構造MgZnO薄膜の発光パターンの評価 阿部　龍弥（本田研） フルカラーμ-LED ディスプレイ製作に向けた蛍光体による青色LEDの波長変換効率の検討 數田　裕也（山口研） μ-LEDディスプレイ製作におけるSU-8を用いた層間絶縁膜の検討 杉原　涼介（本田研） Siマイクロカップへ埋め込んだ青色LEDの温度分布測定 2019年度 修士課程　1年 研究テーマ 工藤　幹太 岩塩構造MgZnOの光学遷移メカニズムと発光特性に関する研究 橘　直純 RF-MBE法によるAlGaN成長における混晶組成制御に関する研究 佐藤　滉太（山口研） 集積化Siマイクロカップ基板を用いたLEDディスプレイ製作に関する研究 武田　翔馬（山口研） モノリシック集積技術を用いたmicro-LEDディスプレイ製作のプロセス検討 学部　4年 研究テーマ 応用物理学科 猪狩　有生 角度依存カソードルミネセンス測定によるMgOとAlNの放射パターンの比較 岩田　善行 マイクロLEDディスプレイ製作に向けたポリイミド薄膜の形成 菅波　　稜 ホール効果測定システムの構築とGaN薄膜の評価 中西　雅彦 窒素イオン注入酸化ガリウム結晶の光電流スペクトル 橋本　真里 RF-MBE法によるAlGaN薄膜の成長と深紫外線受光素子の製作 筑井　大義（本田研） μ-LEDピクセルの製作と発光特性の評価 工学部情報通信工学科 岩田　悠作（山口研） シリコンマイクロカップを用いたマイクロLED間クロストーク抑制の検討 2018年度 修士課程　2年 研究テーマ 小野　瑞生 岩塩構造MgZnOにおける励起子発光メカニズムに関する研究 仲納林　祐貴 マイクロLEDディスプレイにおけるブラックマトリクス原料の比較検討 名和　遼祐（山口研） マイクロLEDディスプレイの試作に関する研究 学部　4年 研究テーマ 応用物理学科 亀井　義史 Siマイクロカップ基板を用いたμ-LEDディスプレイの製作検討 工藤　幹太 岩塩構造MgZnO/MgO量子井戸における量子閉じ込め効果に関する研究 橘　直純 RF-MBE法を用いたAlGaN薄膜の成長と評価 田中　広也 電界変調反射分光法による酸化ガリウム結晶のバンド構造の研究 藤原　有基 MgO結晶における真空紫外線領域のカソードルミネセンススペクトルの観測 佐藤　滉太（山口研） μ-LEDディスプレイ実現に向けたSOGを用いた再配線技術の検討 簾尾 賢矢（本田研） フルカラーμ-LEDディスプレイ製作に向けた蛍光体による波長変換効率の検討 工学部情報通信工学科 上田　拓実（本田研） AlGaNエピタキシャル薄膜の光学的特性の評価 武田　翔馬（山口研） ICP-RIEドライエッチングを用いたモノリシック型μ-LEDディスプレイ製作検討 2017年度 修士課程　1年 研究テーマ 小野　瑞生 岩塩構造MgZnOにおける励起子発光メカニズムに関する研究 仲納林　祐貴 マイクロLEDディスプレイにおけるブラックマトリクス原料の比較検討 名和　遼祐（山口研） マイクロLEDディスプレイの試作に関する研究 学部　4年 研究テーマ 工学部情報通信工学科 相澤　空（山口研） 10×10アレイ構造Siマイクロカップを用いた-LEDディスプレイの製作 吉原　慎治（山口研） NiO薄膜の電気的特性および光学的特性におけるアニール処理の影響 2016年度 学部　4年 研究テーマ 工学部情報通信工学科 小野　瑞生（本田研） p形NiO薄膜における電気的特性と光学的特性の関係 名和　遼祐（山口研） ICPドライエッチングによる集積化μ-LEDの製作検討 光成　将矢（山口研） シリコンマイクロカップ基板の製作とμ-LEDの集積化の検討 2015年度（赴任　初年度） 学部　4年 研究テーマ 工学部情報通信工学科 足達　絵梨子（山口研） Ag分散ZnO薄膜における表面増強ラマン散乱の観測 高　大地(本田研) 銀ナノ結晶を分散したZnO薄膜の光学的特性 芹澤　宏輔（山口研） 集積化プロセスによるUV発光GaN系MOS-LEDの製作 深瀬　拓也（本田研） 分子プリカーサー法で成膜したNiO薄膜のCLスペクトル 藤井　雄介（本田研） 積分球を用いた可視光LEDの発光特性の比較 2014年度（客員研究員） 修士課程　2年 研究テーマ 藤岡　秀平（本田研） GaN系集積発光ダイオードの表面光取出しに関する研究 2013年度（客員研究員） 修士課程　1年 研究テーマ 藤岡　秀平（本田研） GaN系集積発光ダイオードの表面光取出しに関する研究 学部　4年 研究テーマ 工学部情報通信工学科 佐藤　蒼（本田研） GaN系縦型発光ダイオードを用いた高密度集積化の基礎検討 羽山　和雅（本田研） GaN系ショットキーダイオードの整流特性とその温度依存性の検討 2012年度（客員研究員） 学部　4年 研究テーマ 工学部情報通信工学科 友利　文矢（本田研） GaN基板の基礎研磨技術の検討 藤岡　秀平（本田研） GaN結晶の表面改質と光学特性の変化 2011年度（客員研究員） 修士課程　2年 研究テーマ 坂井　直之（本田研） GaN系集積発光ダイオードの表面光取出しに関する研究 学部　4年 研究テーマ 工学部情報通信工学科 大林　亨（本田研） (0001)ZnO結晶のZn面及びO面におけるカソードルミネッセンス測定 ホーム Home