設備

装置名 型番 メーカー 設置部屋 マニュアル等(学内専用)
小型真空蒸着装置 VWR-400M アルバック機工株式会社 CR1 ログノート
鍍金装置 YPP-15030 株式会社 山本鍍金試験器 CR1
スパッタ装置(1元) L-210S-FH キャノンアネルバ株式会社 CR1 ログノート
片面マスクアライナー M-1S ミカサ株式会社 CR1 ログノート
コンパクトエッチャー FA-1 株式会社サムコインターナショナル CR1 ログノート
操作マニュアル
オーブン DX401 ヤマト科学株式会社 CR1,YR ログノート
オフィシャルマニュアル
引掻強度試験機 HEIDEN type 18L 新東科学株式会社 CR1
スピンコーター 1H-DX2 ミカサ株式会社 CR1,YR ログノート
高速型真空蒸着装置 VPC-410 アルバック機工株式会社 CR2 ログノート
スパッタ装置(3元) L-332S-FH キャノンアネルバ株式会社 CR2 ログノート
操作マニュアル
操作マニュアル(簡易版)
ターゲット交換手順
RIE RIE-10NR 株式会社サムコインターナショナル CR2 ログノート
操作マニュアル
Si 深掘りエッチング装置 MUC-21 ASE-SRE 住友精密工業株式会社 CR2
ECRイオンシャワー装置 EIS-200ER 株式会社エリオニクス CR2
ダイシングマシーン DAD-522 ディスコ株式会社 CR2 ログノート
形状測定レーザーマイクロスコープ VK-X200 株式会社キーエンス CR2
膜厚計 F20 松下テクノトレーディング株式会社 CR2
EDX WETSEM JSM-6360LA 日本電子株式会社 CR2 ログノート
操作マニュアル
3Dリアルサーフェスビュー顕微鏡 VE-8800S 株式会社キーエンス CR2
接触角計 Phenix300 メイワフォーシス株式会社 CR2
接触式表面形状測定装置 Dektak XT-E Bruker Corporation CR2 ログノート
超純水製造装置 Milli-Q Element A-10
Elix 3
日本ミリポア株式会社 CR2
金属顕微鏡 BX51, BX41 オリンパス株式会社 CR2,YR
手動ワイヤボンディング 4523D Kulicke & Soffa Industries Incorporated CR2
4探針抵抗測定器 Model sigma-5+ エヌピイエス株式会社 CR2
両面マスクアライナー PEM-800 ユニオン光学株式会社 YR ログノート
真空陽極接合装置 HORIVAC300S 堀口鉄工所(ユニオン光学株式会社) YR
レーザー直接描画装置 DDB-201 ネオアーク株式会社 YR
枚葉式スピンドライヤー  SF-250-HIDN-ARM1  ジャパンクリエイト株式会社  YR
高速度カメラ FASTCAM-MAX120K
Cmodel-1
株式会社フォトロン CR管理室
赤外線放射温度計 A6753sc 日本バーンズ株式会社 CR管理室
パリレンコーティング装置 PDS-2010 Speciality coating systems 16-221
粘弾性測定装置 ARES-G2 ティー・エイ・インスツルメント・ジャパン株式会社 16-226
マイクロフォーカスX線CT装置 ScanXmateE-090 コムスキャンテクノ 16-228
X線回折装置 RINT2200VK/PC 株式会社リガク 16-230
X線回折装置 SmartLab. 株式会社リガク 16-230
EDX-SEM JSM6380A/LV/LA 日本電子株式会社 16-230 ログノート
操作マニュアル
集束イオンビーム装置(FIB) FB-2100 株式会社日立ハイテクノロジーズ 16-231
光造形装置 URM-HP301 株式会社ユニラピッド 16-231
光造形用CAD SolidWorks キャノンシステムトレーディング 16-231
ラマン顕微鏡 XploRA 株式会社堀場製作所 16-231
3次元モデリングシステム VG Studio Point Master 日本ビジュアルサイエンス株式会社 16-231
YAGレーザー(パルス) CYQ-T050MWS  ネオアーク株式会社  16-231
リアルタイムPCR LightCycler480 System II ロシュ・ダイアグノスティックス株式会社 16-325細胞
細胞培養システム (クリーンベンチ) MCV-B161F 三洋電機 16-325細胞
CO2インキュベータ MCO-20AIC 三洋電機 16-325細胞
臨界点乾燥装置 JCPD-5 日本電子株式会社 16-325細胞
吸光マイクロプレートリーダ Multiscan FC Thermo Scientific 16-325細胞
超純水製造装置 Direct-Q UV 日本ミリポア株式会社 16-325細胞
乾熱滅菌器 NDS-510 EYELA東京理化器械株式会社 16-325細胞
オートクレーブ滅菌装置 KTS-3065 アルプ株式会社 16-325細胞
オートクレーブ滅菌装置 KT-2322 アルプ株式会社 16-325細胞
蛍光・位相差顕微鏡 IX-71 オリンパス 16-325細胞
微分干渉・位相差顕微鏡 IX-71 オリンパス 16-325細胞
恒温水槽 GCS-300 アズワン 16-325細胞
ドライサーモユニット DTU-2B タイテック 16-325細胞
蛍光・位相差インキュベータ顕微鏡 LCV110-SK オリンパス株式会社 16-325細胞
原子間力顕微鏡(AFM) NanoScopeVa 株式会社日本ビーコ 16-326応用
走査型共焦点レーザ顕微鏡 OLS-3000LS 株式会社島津製作所 16-326応用
超微小押込み硬さ試験機@ ENT-1100a 株式会社エリオニクス 16-326応用 操作マニュアル
超微小押込み硬さ試験機A ENT-1100a 株式会社エリオニクス 16-326応用 操作マニュアル
マイクロスコープ VHX-100 株式会社キーエンス 16-326応用
マイクロスコープ VHX-1000 株式会社キーエンス 16-326応用
超深度カラー3D形状測定顕微鏡
(レーザ顕微鏡)
VK-9500 株式会社キーエンス 16-326応用
ワンショット3D形状測定機 VR-3200 株式会社キーエンス 16-326応用
6軸関節力学試験装置 特注 ハーモニック・ドライブ・システムズ 16-326応用
熱分析装置 (TG-DTA) Thermo plus EVO TG 8120 株式会社リガク 16-326応用 操作マニュアル
フェムト秒レーザー  IFRIT  サイバーレーザー株式会社  3階CR
電子ビーム蒸着装置 JBS-Z0501EVC 日本電子株式会社 3階CR
拡散接合装置 NP-15G-S ネムス株式会社 3階CR
小型回流水槽 特注 叶シ日本流体技研 8-151
耐久疲労試験システム FRS05-KG 旭製作所 8-354
3D加工装置 AGILISTA-3000 株式会社キーエンス
レーザードップラー流速計 SmartLDVUシステム 日本カノマックス株式会社
熱線流速計 カノマックスIHW-100 4CHシステム 日本カノマックス株式会社
流体力計測装置 LMC-61296 日章電機株式会社
ガスボンベ庫 MBSC棟外 ガスボンベ交換マニュアル
N2自動切り替えアラーム鳴動時の対応
ガス残量記録紙